- BDISCOM 10kW 中頻發生器(2 個電極)- ProfiBus -3 Tap- 版本 2 帶前面板顯示屏; - 19" 機架版本,帶 3 個變壓器級 (400V / 650V / 800V) - 輸出功率:10 kW - 頻率:40 kHz; - 集成脈沖發生器:開/關時間:1 - 40 ms - 風冷 - 接口:A / D - 尺寸:19"x 4 U - 電源電壓:3x 360 V - 480 VAC; 50/60 Hz - 匝數比為 1:6.5 的外部高壓變壓器。 用于連接 4 個電極的分線盒 2 根 2 m 集成去耦電容器的硬接線連接電纜 - 從發電機到高壓變壓器盒的 10 m 可插拔電源線 重量:43,000 公斤 關稅編號: 99 原產國:ITA
- BDS-MF10KW2E-V2北斗發生器意大利BDiscom進口
BDS-MF10KW2E-V2北斗發生器意大利BDiscom進口
BDS-ARC發生器
的高性能發生器,適用于高效率 (> 90 %) 的大電流 CAE 過程
BDS-ARC 150 /250 電弧沉積發生器
簡介: BDS-ARC150/250 是一款輸出高達 150 或 250 A 的直流發電機,專為 CAE 源設計。該系統采用緊湊輕便的 19 英寸外殼。
BDS-ARC150/250 的設計考慮了典型的系統集成商需求。
一些亮點:
該單元僅 178 毫米高。單個機柜中最多可安裝 6 個單元,從而節省空間和安裝成本。
在典型的應用中,使用 220A/20V 的矩形 CAE 源,總功耗僅為 400W。
靈活的接口。提供 Profibus(選項)、RS232 和模擬用戶端口。
冷卻系統采用高效超大散熱器和風扇變速控制。該裝置可以在 40°C 的全功率溫度下不間斷地運行。
可應要求提供集成在裝置中的非接觸式點火模塊。
在 1-50 Hz 頻率范圍內提供電流輸出調制選項(雙電流設定點)
BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz,高|低電壓交流等離子體發生器
BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子體發生器,功率為 5、10 或 15 kW,專為 PECVD 或等離子體清潔應用中的等離子體激發而設計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達 10kW 的功率。
輸出為平衡型,可驅動2個對稱電極。典型應用是大型工藝室的 PE-CVD 工藝。一個的功能是內置 2 個(標準)或 3 個(根據要求)變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。
用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數字 RS232 或 Profibus(根據要求)。亮點和好處:內置輸出匹配變壓器,無需外接盒。風冷機組。沒有與潮濕或漏水相關的風險。全功率,環境溫度高達 40C°。模擬接口。可根據要求提供 Profibus 接口。前面板顯示屏使安裝和故障排除更容易。高效率>90%。結構緊湊輕便,僅重 20kg,4UI。BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列新一代價格競爭力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑匣子射頻發生
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列 BDISCOM 推出了新一代中低功率射頻發生器,旨在滿足實驗室級和小型低壓工業等離子系統的需求。 型號 BDS.HF 200-300-750
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列
新一代價格競爭力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑匣子射頻發生器
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列
BDISCOM 推出了新一代中低功率射頻發生器,旨在滿足實驗室級和小型低壓工業等離子系統的需求。
型號 BDS.HF 200-300-750.BB,黑盒式,僅帶有模擬 0-10 VDC 端口。
中低功率黑匣子系列由一臺 200、300 或 750 W @ 13,56 MHz 輸出功率的單元組成,采用黑匣子配置,僅帶有模擬用戶端口,0-10 VDC A/D 接口。主 230 VAC 由與發電機一起提供的外部電源提供。
BDS HF Black Box (BB) 發生器的常見規格: BDS HF 系列是 E 級電路,典型效率為 85-90%。
輸出功率通過作用于直流母線的 PWM 電路進行調制
CE 標志 - 意大利制造
BDS HF 200 - 300 - 400 - 750 有源前面板系列
新一代價格競爭力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 有源面板射頻發生器
BDS HF 200 - 300 - 750 有源前面板系列
BDISCOM 推出了新一代中低功率 HF 發生器,旨在滿足實驗室級和小型低壓工業等離子系統的需求。
型號 BDS.HF 200-300-750.AFP 200、300、400 和 750 W,有源前面板,直接調諧器接口。
中低功率 AFP(有源前面板)200、300 或 750 瓦系列是一種 1?2 機架安裝式發電機,具有直接調諧器控制和帶有 LCD 觸摸屏顯示的 AFP 可選擇功能和一個旋鈕編碼器用于微調參數。可根據要求提供友好的用戶界面軟件和 RS 232-Profibus 接口。該裝置還可以配置為驅動 2 個自動匹配網絡作為選項。
有源前面板 (AFP) 發生器的常見規格:BDS HF 系列是 E 級電路,典型效率為 85-90%。
輸出功率通過作用在直流總線上的 PWM 電路進行調制。
BDS AMN 750 射頻自動匹配網絡
BDS AMN 750 射頻自動匹配網絡
BDS AMN 750自動匹配單元
BDISCOM 正在推出以 13.56 MHz 標準 ISM 頻率運行的新一代自動匹配網絡單元,用于工業和實驗室用途。典型應用包括濺射工藝、PECVD 沉積、等離子體激活、電介質加熱、激光激發等。
BDS-AMN 750 型:基于額定電壓為 3000 V 的可變空氣帽的自動匹配 | 高達 20 A。模擬用戶端口引腳與 BDS.HF 200、300 和750 瓦發生器兼容。
BDS-AMN 750 是一種阻抗匹配網絡,用于 HF (13.56 MHz) 等離子體應用,將負載的復阻抗轉換為 50 歐姆電阻。調諧電路為L型,采用優質可變電容和精密定位電機。典型的調諧類型小于 2 秒。此外,還提供適用于中等阻抗負載的 TEE 配置。
可以進行范圍廣泛的完整預設或僅一個通道的預設。也可以獨立操作,只需要一個外部開關即可調用點火位置。DC BIAS 測量電路允許監控 DC BIAS,比例為 100。
與所有 Bdiscom 射頻發生器直接連接。一個可用的單個匹配(真空繼電器)上的 3 通道 RF 輸出作為選項。
BDS-AMN 750 自動匹配規格見附件 PDF:
CE 標志 - 意大利制造
BDS SP 500 直流濺射電源
BDS SP 500 直流濺射電源
用于直流濺射工藝的 Bdiscom 電源。500 瓦 FS
具有快速電弧檢測 (< 200 nSec) 和數字接口的價格競爭力的直流電源。適用于中小型研發和工業濺射工具。
用于濺射工藝的 Bdiscom 直流電源。
高效率、高可靠性和市場上吸引力的價格。
一些亮點:
500 瓦 FS(1000 伏輸出),配備用戶友好的有源觸摸屏顯示器 (AFP)。
電源要求:230V - 1PH±10%
重量:約5公斤
尺寸:132.5 x 241 x 400(毫米)
調節方式:功率、電壓、電流
功率輸出:500 瓦特FS
輸出電壓: 1000 伏直流電
輸出電流:1 安培
電弧處理檢測 lt; 200 納秒
接口:A/D,包括 RS 232(Profibus 選項)
冷卻:強制空氣
工作溫度:5-40℃
率 > 90 %
顯示:觸摸屏240x128像素
根據 EN 55011 的 EMC 分類:
這是一種 ISM(工業科學醫療)設備,符合 EN 55011 第 2 組 A 類標準。
CE 標志 - 意大利制造
BDS SP 3、6 和 12 濺射電源
BDS SP 3、6 和 12 濺射電源
用于直流濺射工藝的新型 Bdiscom 電源系列。三個范圍可供選擇:
3KW FS, 1000 Volt FS, 6 Amps 輸出
6KW FS, 1000 Volt FS, 12 Amps 輸出
12KW FS, 1000 Volt FS, 25 Amps 輸出
電弧檢測 (< 200 nSec) 和數字接口。適用于中端研發和工業直流濺射工具
用于濺射沉積的新型 Bdiscom 直流電源。
一些亮點:
所有裝置均配備用戶友好的主動式觸摸屏顯示器
點火電壓高達 1,1 kVolt
電弧檢測 DV/DT 關閉時間 < 1mSec
冷卻空氣
電源要求:400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
功率輸出:3、6 和 12kw FS
電壓輸出:1000 Volt FS
電流輸出:6、12 和 25 安培
點火:1,1 KVolt
電弧檢測器 lt; 200 納秒檢測,< 1 毫秒 DV/DT 關閉時間
效率 gt; 90 %
顯示:觸摸屏240x128像素
調節模式:功率/電壓/電流(可選)
冷卻:空氣(強制)
接口:RS 232 - Profibus - A/D(Profibus 選項)
工作溫度:5-40℃
尺寸:19"機架 - 4HU
根據 EN 55011 的 EMC 分類:
這是 ISM(工業科學醫療)設備,符合 EN 55011 第 2 組 A 類標準。
CE 標志 - 意大利制造
BDS GLOW 3000/6000 發電機
用于輝光放電過程的帶有 AFP(觸摸屏有源前面板)的新型高壓直流發生器
新型 BDISCOM 高效 (90%) 高壓直流電源,可用于任何研發或工業真空等離子系統。
新的 BDS Glow 用于獲得非常穩定和可靠的 HV DC 等離子體,以便在涂層工藝之前清潔或蝕刻基板。
與大多數新的 BDISCOM PSU 系列一樣,它配備了用戶友好的觸摸屏有源顯示器和一個編碼器,以限度地提高參數設置、分辨率和微調。














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