SVT公司的樣品解理部件可以將15mm（其他尺寸可選）的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條。

所有解理出的bar條被收集到樣品托，堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。

設(shè)計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可適用于UHV環(huán)境。
解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。

解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室，不用暴露大氣。

規(guī)格
在線bar條解理

加工15mm×15mm 樣品（10mm-32mm可選）
加工成15mm×1mm 樣品（1mm-5mm寬度可選）
8''法蘭接口
可烘烤至180oC，（200oC可選）
樣品可以兩種方向加工
UHV環(huán)境兼容
Cassette裝取