適用于多種晶圓量測應(yīng)用，
? 如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
? 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境
? 支援飛安低漏電量量測
? 溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

TS200-SE Probe System細節(jié)優(yōu)勢

MPI TS200-SE手動探針測試系統(tǒng)具有的功能。具有高度可重復(fù)性（1µm）的壓板提升設(shè)計，具有用于安全，接觸，分離（300µm）和加載（3mm）的三個離散位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設(shè)置。附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探頭與Chuck對齊。

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境。