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目前市面上的微透鏡主要有SUSS,Thorlabs(索雷博),Edmund(愛特蒙特)和維爾克斯光電,其中提供標準型號的主要有Thorlabs,Edmund和維爾克斯光電。維爾克斯光電作為國內主要的微光學元件生產商,提供周期30um~1000um的微透鏡,有近50種標準型號,比前面提到的另外兩家型號更多。品質上,我們的面形精度和誤差不輸進口同類產品,而明顯降低,是替換進口同類產品的一個選擇。
隨著蘋果和臺積電等國際把資源投入光學微加工領域,WLO(晶圓級光學元件)、DOE(衍射光學元件)和微透鏡(Micro lens arrays)在這兩年快速興起,在哈特曼-夏克波前傳感器、深度相機、光纖通信等領域。
哈特曼-夏克(Shack-Hartmann)波前傳感器是微透鏡的一個主要應用,微透鏡陣列通常置于CCD陣列前方特定位置,使在CCD傳感器上成像的平面波前將形成有規律的亮點圖案。然而,如果在CCD傳感器上成像的光將由包含偏離光斑和消失光斑的有一定間隔的光斑組成,則說明波前是畸變的。這些信息可計算入射到微透鏡陣列的波前形狀。哈特曼-夏克波前傳感器可用于表征光學系統的性能,也可以用于通過實時監測波前來控制自適應光學元件,以達到在成像前消除波前畸變的目的。
光纖與光纖之間的連接耦合是另外一個有潛力的應用方向,好的微透鏡設計可以提高耦合效率,優化耦合結構,目前我們已經能夠提供多合一的光纖通信耦合微透鏡。
微透鏡的特點
尺寸通常為10 mm x 10 mm,和Thorlabs,Edmund相同,用戶可自行轉接到1英寸鏡架
標準產品不鍍膜,可根據用戶需要鍍膜
熔融石英襯底
微透鏡按方形網格,六邊形網格排列
透鏡陣周期50um~1000um,有十多種選擇
光斑尺寸近衍射限制
高的光斑與背景對比度
維爾克斯光電的ML系列微透鏡陣列由于采用熔融石英材料,在紫外到紅外具有良好的傳輸特性,使其成為很多應用的理想選擇。微透鏡具有平凸外形,外觀為圓形,底面通常為正方形,按照正方形排列,也有六邊形微透鏡按六邊形排列的標準品。微透鏡填充系數可達。
維爾克斯光電提供的微透鏡基于半導體加工技術中的光刻技術加工,該技術使每個微透鏡的形狀和位置都具有良好的一致性。光學效果比模壓環氧樹脂生產的微透鏡陣列更好,產生的光斑尺寸可以接近衍射極限。
微透鏡陣列的命名規則:
ML- (子單元形狀)-(子單元尺寸)-F(焦距)
ML: Micro Lens
排列形狀/子單元形狀:S正方形,H六邊形
子單元尺寸:單位μm
焦距:單位mm
例如:ML-S32-F0.08,為正方形32×32μm子單元作正方形排列,焦距0.08mm的微透鏡陣列
Thorlabs微透鏡命名:MLA-子單元尺寸-焦距-鍍膜,周期150~300um
Thorlabs微透鏡型號:MLA150-5C,MLA150-7AR,MLA300-14AR
Edmund微透鏡命名:型號沒有實際含義,微透鏡周期300~500um
Edmund微透鏡型號 64-478,#64-477,#64-476,#64-483,#64-482,#64-480,#64-488,#64-479,#84-132,#64-489,#64-490,#83-910,#86-745
微透鏡陣列的標準規格:
1. 正方形微透鏡,正方形周期
微透鏡型號 | 子單元形狀 | 子單元尺寸(周期) | 焦距 | 鏡片尺寸 | 中心波長 |
ML-S32-F0.08 | 正方形 | 32μm | 0.08mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S32-F0.16 | 正方形 | 32μm | 0.16mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S50-F0.3 | 正方形 | 50μm | 0.3mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S64-F0.45 | 正方形 | 64μm | 0.45mm | 12×12mm | 633nm |
ML-S75-F0.75 | 正方形 | 75μm | 0.75mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S100-F0.5 | 正方形 | 100μm | 0.5mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S100-F1 | 正方形 | 100μm | 1mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S100-F3 | 正方形 | 100μm | 3mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S108-F3 | 正方形 | 108μm | 3mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S120-F2.4 | 正方形 | 120μm | 2.4mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S150-F3 | 正方形 | 150μm | 3.0mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S200-F7.9 | 正方形 | 200μm | 7.9mm | 8×8mm | 633nm |
ML-S237-F7 | 正方形 | 237μm | 7mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S250-F5 | 正方形 | 250μm | 5mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S250-F5 | 正方形 | 250μm | 5mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S250-F10 | 正方形 | 250μm | 10mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S300-F5 | 正方形 | 300μm | 5mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S300-F5 | 正方形 | 300μm | 5mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S300-F10 | 正方形 | 300μm | 10mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S300-F30 | 正方形 | 300μm | 30mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S310-F10 | 正方形 | 310μm | 10mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S310-F10 | 正方形 | 310μm | 10mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S310-F7 | 正方形 | 310μm | 7mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S310-F7 | 正方形 | 310μm | 7mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S500-F15 | 正方形 | 500μm | 15mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S500-F30 | 正方形 | 500μm | 30mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S500-F30 | 正方形 | 500μm | 30mm | 12×12mm | 633nm |
ML-S500-F35 | 正方形 | 500μm | 35mm | 12×12mm | 1550nm |
ML-S500-F50 | 正方形 | 500μm | 50mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S550-F35 | 正方形 | 550μm | 35mm | 12×12mm | 1550nm |
ML-S600-F25 | 正方形 | 600μm | 25mm | 10×10mm | 633nm |
ML-S1000-F30 | 正方形 | 1000μm | 30mm | 12×12mm | 1550nm |
ML-S1000-F35 | 正方形 | 1000μm | 35mm | 12×12mm | 1550nm |
ML-S1015-F61 | 正方形 | 1015μm | 61mm | 10×10mm | 650nm |
ML-S1015-F153 | 正方形 | 1015μm | 153mm | 10×10mm | 650nm |
ML-S1100-F153 | 正方形 | 1100μm | 153mm | 10×10mm | 650nm |
ML-S1500-F153 | 正方形 | 1500μm | 153mm | 10×10mm | 650nm |
2. 六邊形微透鏡,六邊形周期
微透鏡型號 | 子單元形狀 | 子單元尺寸(周期) | 焦距 | 鏡片尺寸 | 中心波長 |
ML-H1000-F30 | 六邊形 | 1000μm | 30mm | Φ16mm×2 | 450nm-2800nm |
ML-H1000-F40 | 六邊形 | 1000μm | 40mm | Φ16mm×2 | 450nm-2800nm |
ML-H1000-F50 | 六邊形 | 1000μm | 50mm | Φ16mm×2 | 450nm-2800nm |














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