這款高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)是精密線性直驅(qū)平移臺(tái),采用光學(xué)編碼器和3相無(wú)鐵線性無(wú)刷伺服電機(jī)技術(shù),為用戶帶來(lái)零反沖高精度平移運(yùn)動(dòng),具有的平移精度高,重復(fù)精度高和摩擦低的特點(diǎn)。
高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級(jí)分辨率。
高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)采用自然老化鋁合金確保了平移臺(tái)高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng),導(dǎo)軌系統(tǒng)不會(huì)發(fā)生漂移。
高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺(tái)。
高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺(tái)上,可直接安裝搭建成電動(dòng)XY二維平移臺(tái),無(wú)需使用任何連接板,也可按要求提供垂直Z軸平移臺(tái)。
高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)還可以安裝到花崗巖龍門(mén)架或高精度平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。
圖1：高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)實(shí)物圖
高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)特點(diǎn)
超精密位移運(yùn)動(dòng)能力
直接驅(qū)動(dòng)無(wú)反沖backlash系統(tǒng)
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
超長(zhǎng)使用壽命
方便集成到各種平臺(tái)或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
XY二維位移臺(tái)的正交性高達(dá)<=5arcsec
非常適合光學(xué)延遲線應(yīng)用
圖2：采用高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)搭建的電動(dòng)XY二維線性位移臺(tái)系統(tǒng)
高精度直驅(qū)線性平移臺(tái)規(guī)格
| 行程范圍 | 300mm |
| 編碼器類(lèi)型 | 光學(xué)編碼器 |
| 編碼器型號(hào) | LEn1 |
| 編碼器分辨率 | 25nm~5um任意 |
| 編碼器接口 | 差分RS422 |
| 放大系數(shù) | 4-200任選 |
| 編碼器光柵周期, | 20um |
| 參考標(biāo)記 (Index) | Yes |
| 精度2) | |
| 標(biāo)定前 | ±5μm |
| 標(biāo)定后 | ±1μm |
| 單向重復(fù)精度 | N/A |
| 雙項(xiàng)重復(fù)精度（peak-peak)2) | ±0.15μm |
| 雙項(xiàng)重復(fù)精度(RMS) 2) | ±0.08μm |
| Pitch 3) | ±30 / ±6.20 μrad/arcsec |
| Yaw 3) | ±30 / ±6.20 μrad / arcsec |
| Roll | N/A |
| 速度 (負(fù)載4Kg) 4) | <2000mm/s |
| 加速度 ((負(fù)載4kg) 5) | <20000mm/s^2 |
| 安全限位開(kāi)關(guān) (Safety) | Optical (Optrons) |
| 安全限位開(kāi)關(guān)極性 | Pushed is closed |
| 限位開(kāi)關(guān)電壓 | 5…24V |
| 負(fù)載導(dǎo)向信息 | |
| 類(lèi)型 | 線性電機(jī)平移臺(tái) |
| 電機(jī)類(lèi)型 | LM3 |
| 電機(jī)設(shè)計(jì)類(lèi)型 | 無(wú)鐵BLDC Motors |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 負(fù)載 (中心放置) 6) | |
| 水平 | 30kg |
| 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量 7) | 1.2kg |
| 導(dǎo)向系統(tǒng) | 循環(huán)直線軌道和載物滑塊單元 |
| 材料和外殼信息 | |
| 外部材料 | 鋁合金 |
| 外殼處理 | 黑色陽(yáng)極氧化 |
| 環(huán)境壓力 | 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 | |
| 推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅(qū)動(dòng)器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦電源 9) | Request Standa support |
| 推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 線纜長(zhǎng)度 | 2m |
| 差分輸出 10) | On request |
| 配件 | |
| 底板 | 不需要 |
| XY二維平移臺(tái)系統(tǒng)搭建 | 直接搭建,不需要安裝適配板 |
| Z軸豎直平移臺(tái)搭建 | 可以 |
| 外形尺寸 | |
| 移動(dòng)臺(tái)尺寸 (W x L) | 140 x 140mm |
| 外形尺寸 (W x L x H) | 185 x 513 x 55mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| XY二維平移臺(tái)正交性 11) | 24/5 μrad/arcsec |
| 防護(hù)處理 13) | 基礎(chǔ)防護(hù) |
| RoHS | 滿足 |
| 重量 | 6.75kg |
1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測(cè)量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-OL 電子自相關(guān)儀器測(cè)試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-OL分辨率1μrad. 環(huán)境誤差1μrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動(dòng)器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動(dòng)器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒(méi)有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動(dòng)器有助于發(fā)揮電動(dòng)平移臺(tái)的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來(lái)選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動(dòng)或被動(dòng)LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動(dòng)位移臺(tái)系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺(tái)包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境。
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