xyzθ定位平臺系統采用美國Aerotech公司高精度多軸多維定位臺構造,可進行XYZ-Theta四維位移定位,也是的xyzθ定位臺和xyzθ定位平臺系統。
xyzθ定位平臺采用XY位移臺實現XY定位,采用升降臺實現Z軸定位,采用旋轉定位臺進行Theta定位,采用全數字伺服控制器,從而實現100mm x 100mm x 16mm x 360degree的xyzθ定位,分辨率高達1nm和0.36arcsec。
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xyzθ定位平臺系統采用美國Aerotech公司高精度多軸多維定位臺構造,可進行XYZ-Theta四維位移定位,也是的xyzθ定位臺和xyzθ定位平臺系統
xyzθ定位平臺系統采用美國Aerotech公司高精度多軸多維定位臺構造,可進行XYZ-Theta四維位移定位,也是的xyzθ定位臺和xyzθ定位平臺系統。
xyzθ定位平臺采用XY位移臺實現XY定位,采用升降臺實現Z軸定位,采用旋轉定位臺進行Theta定位,采用全數字伺服控制器,從而實現100mm x 100mm x 16mm x 360degree的xyzθ定位,分辨率高達1nm和0.36arcsec。
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