這款高級(jí)自動(dòng)光譜橢偏儀是自動(dòng)變角橢偏儀,能夠自動(dòng)改變測(cè)角計(jì)入射角的spectroscopic ellipsometer,角度改變步進(jìn)高達(dá)0.01度，光譜范圍覆蓋250-1700nm, 是寬波段高精度自動(dòng)橢偏儀。

　　高級(jí)自動(dòng)光譜橢偏儀光譜范圍覆蓋從深紫外到可見(jiàn)光再到近紅外.深紫外波長(zhǎng)非常適合測(cè)量超薄薄膜，比如納米厚度薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對(duì)于測(cè)量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。

　　橢圓偏振技術(shù)是通過(guò)研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測(cè)量技術(shù)。

　　與反射計(jì)或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見(jiàn)入射角下獲得。通過(guò)改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測(cè)量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于固定角橢偏儀。

　　改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動(dòng)調(diào)節(jié)，一種是自動(dòng)調(diào)節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。

　　高級(jí)自動(dòng)光譜橢偏儀特色

　　易于安裝，拆卸和維護(hù)

　　*的光學(xué)設(shè)計(jì)

　　自動(dòng)改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_(dá)0.01度

　　高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用

　　采用陣列探測(cè)器確保高速測(cè)量

　　測(cè)量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率

　　可用于實(shí)或在線監(jiān)測(cè)薄膜厚度和折射率

　　具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)

　　提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式

　　靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)量

　　一鍵快速測(cè)量

　　全自動(dòng)標(biāo)定和初始化

　　精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直，不需要額外光學(xué)

　　精密高度和傾斜調(diào)整

　　適合不同材料和不同后的樣品襯底基片

　　2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出

　　高級(jí)自動(dòng)光譜橢偏儀參數(shù)

　　波長(zhǎng)范圍：250-1700nm

　　波長(zhǎng)分辨率：1nm （深紫外）， ~3nm （可見(jiàn)光）， ~6nm (近紅外）

　　測(cè)量點(diǎn)大小：1-5mm可調(diào)

　　入射角：20-90度可調(diào)

　　入射角分辨率：0.01度

　　可測(cè)樣品大小：100x100mm

　　可測(cè)樣品厚度：高達(dá)10mm

　　測(cè)量薄膜厚度：0nm ---30um

　　測(cè)量時(shí)間 1s/點(diǎn)

　　精度 0.25%

　　重復(fù)精度 lt;1A

　　高級(jí)自動(dòng)光譜橢偏儀可選配件

　　反射或透射光度測(cè)量配件

　　微點(diǎn)測(cè)量小面積

　　X-Y位移臺(tái)用于厚度繪圖

　　加熱臺(tái)/制冷臺(tái)用于薄膜動(dòng)力學(xué)研究

　　垂直樣品安裝測(cè)角計(jì)

　　波長(zhǎng)拓寬到IR范圍

　　掃描單色儀配置