單點少子壽命測量儀系統是經濟型晶圓壽命測量儀器,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。單點少子壽命測量儀可測量小于156mm厚度的晶錠,沒有自動化配置,手工操作。可增配電阻率測試功能,適合硅，晶圓片和晶錠壽命測量。
單點少子壽命測量儀特點
無接觸和非破壞的電學參數測試
對外延工藝監控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的分辨率
對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項
單點少子壽命測量儀優勢
用于不同制備階段，從成體到最終器件，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。
體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結果可視化。
適用于晶圓片到晶錠，易于高度調整。
單點少子壽命測量儀技術參數
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。