3D激光直寫打印機具有3D激光打印機和3D激光直寫光刻機功能,可制作分辨率優于10微米的高分辨率3D微納結構圖案。
3D激光直寫打印機可以在光刻膠上直寫3D圖案結構,可容納100x100mm的平面襯底,直寫打印的圖案厚度高達50mm,適合大規模激光3D打印。
3D激光直寫打印機可使用市場上的多數光膠和3D光刻材料,可以裝配375nm或405nm激光器。
3D激光直寫打印機特色
高分辨率3D光刻,分辨率<10微米
大尺寸3D直寫打印：100x100x50mm^3
可大深度聚焦
可選375nm或405nm紫外激光波長
光束最小可到5微米直徑
直寫步長可調
采用3D激光光刻軟件控制
可以掃碼直寫或矢量直寫
3D激光直寫打印機規格參數
線性直寫速度 gt;50mm/s
位移臺分辨率：100nm
重復精度：100nm
加工晶圓面積：1~4英寸
允許襯底厚度：250微米~10毫米
激光斑點尺寸：5微米~50微米
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