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設(shè)計特點(diǎn)
400 μm閉環(huán)行程；450 μm 開環(huán)行程
出色的步進(jìn)和穩(wěn)定和掃描性能
設(shè)計用于更大的高數(shù)值孔徑物鏡
的定位分辨率和線性度
安裝靈活性
29 毫米直徑通光孔徑
Aerotech 的 QFOCUS ® QF-50 壓電納米定位載物臺可在不犧牲速度或納米級性能的情況下實現(xiàn)大行程（400 μm CL，450 μm OL）的顯微鏡物鏡和光學(xué)元件定位。
QF-50 旨在適應(yīng)更新的光學(xué)儀器和下一代激光微加工應(yīng)用。由于采用高剛度機(jī)械設(shè)計，QF-50 的性能優(yōu)于具有更大、更高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡的競爭壓電掃描儀產(chǎn)品。QF-50 非常適合要求高精度和吞吐量以及長行程的苛刻光學(xué)定位應(yīng)用。
精密設(shè)計
QFOCUS QF-50 壓電平臺由使用有限元分析優(yōu)化的精密撓性件引導(dǎo)。由此產(chǎn)生的設(shè)計提供了出色的剛度和諧振頻率，從而實現(xiàn)了高工藝吞吐量和快速閉環(huán)響應(yīng)。
除了針對高動態(tài)特性進(jìn)行設(shè)計之外，QF-50 撓性軸承設(shè)計還經(jīng)過精心設(shè)計，可實現(xiàn)的幾何性能，整個行程范圍內(nèi)的直線度誤差可達(dá) 40 nm。