設計特點
移動到 240 μm x 240 μm x 25 μm
大方形通光孔徑達 66 毫米 x 66 毫米
通過平行運動設計實現的多軸精度
高剛度和動態導致高工藝吞吐量
高精度、無摩擦的彎曲導向
正在申請的設計提供的幾何性能
設備壽命長
具有直接計量電容傳感器選項的定位分辨率和線性度
開環和真空版本
Aerotech 的 QNP3 系列 XYZ 平行運動壓電定位平臺在緊湊的薄型封裝中結合了亞納米分辨率、高動態和出色的幾何性能。QNP3 系列壓電位移臺標配大通光孔徑，閉環行程可達 200 µm x 200 µm x 20 µm（開環行程可達 240 µm x 240 µm x 25 µm）。該設計非常適合光學和掃描探針顯微鏡或其他檢測或制造應用，在這些應用中，需要通過三個 DoF 操作進行兩側部件訪問。

精密平行運動設計
QNP3 壓電平臺采用平行運動彎曲和計量設計，可確保的多軸精度。在經過 FEA 優化以確保高剛度和長設備壽命的精密撓性件的引導下，QNP3 平臺提供的剛度和諧振頻率，從而實現高工藝吞吐量和快速閉環響應。