設計特點

行程從 100 μm 到 300 μm

高剛度和動態性能帶來出色的步進和穩定和掃描性能

高精度、無摩擦的彎曲導向

設備壽命長

具有直接計量電容傳感器選項的定位分辨率和線性度

使用各種螺紋適配器或安裝孔實現定制安裝布置的安裝靈活性

通光孔徑達 29 毫米直徑

Aerotech 的 QFOCUS™ QF-46 壓電納米定位平臺系列使顯微鏡物鏡和光學器件以納米級性能高速定位。QF-46 提供 100 μm 和 250 μm（120 μm 和 300 μm 開環）的閉環行程，可提供長行程而不犧牲動態操作和納米精度。

QF-46 的設計考慮到了下一代光學儀器和激光機。例如，由于其更高的固有剛度，QF-46 的性能優于具有更大更重的更高數值孔徑 (NA) 物鏡的競爭產品。QF-46 非常適合需要高精度和長行程吞吐量的任何苛刻的光學應用。

精密機械結構

QFOCUS QF-46 壓電平臺由精密彎曲引導，這些彎曲使用有限元分析進行優化，以確保高剛度和長設備壽命。由此產生的設計提供了出色的剛度和諧振頻率，從而實現了高工藝吞吐量和快速閉環響應。