Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺
關鍵詞:納米定位平臺/壓電平臺/壓電納米定位臺
QNP系列壓電納米定位平臺以緊湊,高剛度的封裝提供納米級的性能。多種行程(100μm至600μm)和反饋選項使其成為從顯微鏡到光學對準的應用的理想解決方案。
緊湊包裝中的高質量
QNP壓電平臺受撓曲的指導,該撓曲使用有限元分析進行了優化,以確保高剛度和較長的設備壽命。終的設計提供了剛度和諧振頻率,從而實現了高處理量和快速的閉環響應。此外,集成的XY封裝程度地減少了平臺堆疊高度和移動質量,從而實現了靜態和動態多軸性能。
高分辨率和定位精度
所有QNP壓電級均采用的電容傳感器設計,提供閉環反饋選項,可實現亞納米分辨率和高線性度。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出,從而實現精度和可重復性。
超控制
與Aerotech的Q系列控制器和驅動器配合使用時,QNP壓電納米定位臺具有亞納米級的定位分辨率和就位穩定性(抖動)以及高定位帶寬。
QNP壓電級可提供電容傳感器反饋或無反饋(開環)。對于需要緊湊的尺寸,高動態特性和亞納米級定位分辨率,但又不需要定位精度和可重復性的應用,開環提供了一種






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