設計特點
六自由度定位,線性行程達到110 mm,角度行程達到40°
設計,保證定位精度規(guī)格
XYZ中小增量運動達到20 nm,θxθyθz中小增量運動為0.2μrad
靈活的配置和定制
可根據(jù)要求提供真空準備
*的控件和軟件,可視化的工作和工具坐標系
設計靈活性
HEX500-350HL在設計時考慮了靈活性和定制性。平臺和基座可以通過用戶特定的功能或安裝模式輕松進行修改。對于需要不同行程或性能參數(shù)的應用,可以考慮該標準來定制設計的運動學和/或結(jié)構(gòu)布局。





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