Aerotech qnp2雙軸壓電納米定位平臺

關鍵詞：納米定位平臺/壓電平臺/壓電雙軸定位平臺

QNP2系列XY并聯運動壓電定位平臺在緊湊，小巧的封裝中結合了亞納米級分辨率，高動態性能和幾何性能。QNP2系列壓電平臺具有大的，清晰的孔徑，閉環行程可達200 µm x 200 µm（開環行程為240 µm x 240 µm）。該設計非常適合光學顯微鏡，掃描探針顯微鏡，X射線透射顯微鏡或需要兩側零件訪問的其他檢查或制造應用。

XY雙軸壓電陶瓷平臺：
移至240 µm x 240 µm
大方形透明光圈，70 mm x 70 mm
通過并聯運動設計實現多軸精度
高剛度和動態特性，可實現高工藝產量，無摩擦的撓性導向
正在申請的設計提供了的幾何性能
設備壽命長
具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度
開環和真空版本

Mechanical Specifications

XYZ雙軸壓電陶瓷平臺：

QNP3系列XYZ并聯運動壓電定位平臺在緊湊的小尺寸封裝中結合了亞納米分辨率，高動態特性和幾何性能。QNP3系列壓電平臺具有大的，清晰的孔徑，閉環行程可達200 µm x 200 µm x 20 µm（開環行程為240 µm x 240 µm x 25 µm）。該設計非常適合光學和掃描探針顯微鏡或其他檢查或制造應用，這些應用需要通過三個DoF操作來進行兩側零件的訪問。

移至240μmx 240μmx 25μm
大方形透明光圈，可達66 mm x 66 mm
通過平行運動設計實現多軸精度
高剛度和動態特性，可實現高工藝產量，無摩擦的撓性導向
正在申請的設計提供了的幾何性能
設備壽命長
具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度
開環和真空版本

并聯運動設計

QNP2壓電位移臺采用平行運動的彎曲和計量設計，可確保水平的多軸精度。借助經過FEA優化的撓曲，以確保高剛度和長使用壽命，QNP2位移臺具有的剛度和共振頻率，從而實現了高工藝通量和快速的閉環響應。

使用正在申請的驅動器設計，可將偏航誤差小化，同時仍保持符合Abbe標準的計量系統。這種設計可在整個XY行程空間內實現的定位性能。

亞納米性能

所有QNP2壓電級均可提供閉環反饋（-C）或開環（無反饋）。的電容傳感器并行測量設計可測量定位支架的輸出，直接實現亞納米分辨率，低于0.01％的線性誤差和一位數納米可重復性。

超控制

與Aerotech的Q系列控制器和驅動器配合使用時，QNP2位移臺具有亞納米級的定位分辨率，在位穩定性（抖動）和高定位帶寬。諸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer軟件包之類的軟件選件提供了許多而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Commａnd Shaping，從而改善了跟蹤誤差并縮短了分步和穩定時間。還提供OEM驅動