Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺，擁有超的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。

設計特點

專為掃描和檢查而設計

所有空氣軸承表面上的有效空氣預載

線性編碼器反饋提供亞納米分辨率

高剛性，可承受重載，并具有幾何性能

行程達500毫米

前沿制造業，特別是在半導體和數據存儲行業中，要求的定位公差超出了傳統滾珠絲杠和機械軸承定位系統的能力。ABL1500空氣軸承臺具有主動的預緊力，的剛度和幾何特性，為滿足這些需求而設計。

空氣軸承設計，實現高動態性能

ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外，這種設計還可以使平臺具有剛度，非常適合重載或偏載。

制造技術導致了具有無法超越的幾何特征的階段。空氣軸承具有固有的平均效應，可限度地提。薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規則性。此特性可產生螺距，滾動，偏航，直線度和平坦度規格。

直線電機驅動

此階段的驅動力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機。該設計體現了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經驗。BLMC使用無鐵力，這意味著零齒槽效應和無吸引力，從而實現了的運動平穩性。BLMC能夠產生高的力和速度，代表了功率和性能的結合。

零維護

我們的非接觸式空氣軸承，非接觸式線性電動機驅動器和非接觸式反饋設備確保了Aerotech設備所期望的水平

通過每個階段的認證。

列出了軸上加載的軸方向。

規格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統。多軸系統的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用，請咨詢工廠。

為了防止空氣軸承承受負壓，建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。

供氣必須清潔，干燥至0°F露點并過濾至0.25 µm或更高；建議使用純度為99.9％的氮氣。

對于XY配置，上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm，則需要ABL1500WB作為下軸。

通過每個階段的認證。

列出了軸上加載的軸方向。

規格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統。多軸系統的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用，請咨詢工廠。

為了防止空氣軸承承受負壓，建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。

供氣必須清潔，干燥至0°F露點并過濾至0.25 µm或更高；建議使用純度為99.9％的氮氣。

對于XY配置，上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm，則需要ABL1500WB作為下軸。

ABL系列定位平臺優點：
?幾何性能的氣浮導軌
?1.2 m x 1.2 m 的行程
?光柵尺或激光回饋干涉儀
?亞微米定位精度
?XY 和 XYZ 集成系統
?無槽直接驅動電動機
同時我們還提供其他型號的納米級直線、旋轉高運動平臺，比如 pro系列，ANT95系列等等。