Aerotech ANT-95系列氣浮軸承直驅(qū)直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，擁有超的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。

ant95系列定位平臺(tái)優(yōu)點(diǎn)：

?幾何性能的氣浮導(dǎo)軌
?1.2 m x 1.2 m 的行程
?光柵尺或激光回饋干涉儀
? 分辨率1nm
? 重復(fù)定位精度50nm
?亞微米定位精度
?XY 和 XYZ 集成系統(tǒng)
?無槽直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)

同時(shí)我們還提供其他型號(hào)的納米級(jí)直線、旋轉(zhuǎn)高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，比如 pro系列，ABL系列等等。

型號(hào)包括：

ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S
ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S
ANT95-50-10-NC-LT06AS-SINGLE-C50S