紫外臭氧清洗機
電源：220V；
燈管：特殊格冊狀燈管（進口石英材料），250W，壽命5000小時；
主要工作光譜：185nm+254nm
有效清洗面積：6、8、10、12、16英寸（可選擇其中一種）
清洗時間控制器：0-99.99小時或分鐘；
壽命計時器：計算燈管使用壽命；
照射高度： 20-100mm，可通過托盤四邊螺母調節高度;
UV ON/OFF指示，異常指示/警報;
燈管預熱：具燈管預熱提示功能，15分鐘;
排風功能：自帶抽風系統，可調節風速，8cm直徑出風口，配置風管及鋁膠帶
應用領域
■在進行薄膜沉積之前*行基片清洗。清除浮渣和穩定化處理光刻膠。超高真空度密封。
■清洗硅芯片，透鏡，反光鏡，太陽能面板，冷軋鋼，慣性引導零件和 GaAs芯片
■清潔焊劑，混合電路以及平板LCD顯示器
■蝕刻特氟隆，氟橡膠以及其它有機材料
■增強GaAs 和Si氧化物鈍化表面
■增強玻璃的除氣作用
■基片藍膜去除
■增強塑料表面的鍍膜的粘附性
■基片終測后墨跡清楚
■去除光刻膠
■平板顯示器/液晶顯示器
■去除光刻機臺上的光刻膠殘留物
■在電路板封裝和打片之前清洗）
■光纖
■增強表面親水特性
■為生物科學應用做清洗和消毒
■光學透鏡
■其它應用
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