2016年，日立高新公司推出臺大氣壓下掃描電子顯微鏡AeroSurf1500，其的設計可在大氣壓下得到清晰的掃描電子圖像。
服務范圍：
測試項目 Test Item | 服務范圍 Scope |
微觀形貌觀察 | 根據客戶要求對樣品區域、形貌進行觀察與分析，放大倍數＜10,000倍；不能測試液體及易揮發物質 |
元素分析 | 測量范圍/精度: Li3~Cf98 適用范圍：高聚物、金屬、無機物、粉末等； 定性半定量； 不能測試液體及易揮發物質 |
斷面分析 | 1. 針對斷裂樣品進行，使用光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡進行觀察 2. 主要判斷斷裂方式(韌性、脆性)、裂紋源頭、延展方向等 3. 報告中包含斷口圖片和分析結果，但無法判斷斷裂原因 |
異物失效分析 | 金屬腐蝕產物分析 金屬鍍層析出物定性分析 介質污染異物類分析 |
鍍層厚度及成分定性分析 | 針對部分真空電鍍至0.8μm以下鍍層厚度，進行SEM厚度測試，分辨率可達0.01μm；及多層鍍層線掃描成分分析 |
特點：
1、可在大氣壓（105Pa）下得到SEM圖像；
2、臺式掃描電鏡設計；
3、低真空下成分分析；
4、優質的圖像處理控制；
應用領域：
1、食品檢測；
2、生物科技；
3、刑偵醫學；
4、醫藥檢測；
5、環境監測。
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