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當前位置：魅力琥珀（深圳）科技有限公司>>傳熱設備>>加熱器>> 泵和氣體管路 加熱系統 加熱器WATLOW瓦特洛泵和氣體管路加熱系統

WATLOW瓦特洛泵和氣體管路加熱系統

產品二維碼
參  考  價:￥ 1300
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號：泵和氣體管路 加熱系統 加熱器
  • 品牌：
  • 產品類別：加熱器
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時間：2023-07-02 21:15:44
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魅力琥珀（深圳）科技有限公司

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  • 商鋪產品：1098條
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產品簡介

Watlow的燃氣管路加熱器旨在調節燃氣管路中的溫度，以防止燃氣管路中出現冷凝

詳情介紹

Watlow 的燃氣管路加熱器旨在調節燃氣管路中的溫度，以防止燃氣管路中出現冷凝。

原硅酸四乙酯 (TEOS)、三氯化硼 (BCl3)、氯化鋁 (AlCl3)、 (ClF3) 和二氯硅烷 (DCS) 是由于低溫相移而冷凝或液化的氣體。在半導體工藝中，冷凝發生在氣體管線中，并在注入真空室之前在噴頭中形成水坑。如果將液化氣體注入真空室，將會出現大量晶片缺陷。使用氣體管線加熱器均勻加熱管線將防止冷凝。TEOS 管線通常加熱到 194°F (90°C) 以上，BCl3 加熱到 86°F (30°C) 以上，具體取決于壓力和流速。生產線溫度會因工藝參數而異。

    仟漁
					
					
    
						
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