INFICON薄膜沉積控制器IC6

特征

• INFICON ModeLock 技術可確保、分辨率和可用的厚度測量，即使在非常低的速率下

• Auto Z 通過在材料沉積時自動確定 Z 比來提高厚度精度

• 同時共沉積多達六個源

• 彩色 TFT LCD 顯示屏使您可以輕松查看過程中發生的情況

• +/-0.0035 Hz 超過 100 毫秒采樣

• 用于屏幕截圖、配方存儲和數據記錄的 USB 數據存儲

• *的 I/O，可以靈活地集成到簡單或復雜的系統中（使用可擴展的輸入 (28) 和輸出（24 個繼電器，14 個 TTL 輸出），并使用邏輯功能（100 個邏輯語句）

• 6 個 DAC 輸出標準，6 個附加可選用于源控制、速率或厚度監控

• 最多可容納 50 個進程，每個進程 200 層，進程最多可鏈接到 10,000 層

• 多傳感器平均多達 8 個傳感器

• 4 米 XIU 選項提供了在大型系統中使用長真空傳感器電纜的能力

• 可選以太網通信

• 可選的 IC6 配置編輯器軟件（部件號 781-620-G1） - 基于 LabVIEW® 的 Windows® 軟件，允許離線創建和編輯 IC6 配置文件并將 IC/5 配置文件轉換為 IC6 格式。

• 符合 RoHS

典型應用

• 光學鍍膜

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