一、真空固化烤箱，防氧化真空系統用途
無氧真空系統用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火，PR膠排膠固化等工藝。廣泛應用于半導體、電子產品、醫療衛生等行業，適用于工廠、高等院校、科研等場所。
二、真空固化烤箱，防氧化真空系統技術性能參數
| 1、設備名稱： | |
| 名稱 | 無氧真空系統 |
| 2、設備型號： | |
| 型號 | JS-GYZF系列 |
| 3、設備主要技術參數： | |
| 3.1 工作室尺寸 | 450×450×450，600×600×600（mm） |
| 3.2 材質 | 內箱采用316L醫用級不銹鋼，外箱采用優質冷軋板靜電噴塑 |
| 3.3 溫度范圍 | RT+10-300/450℃ |
| 3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ |
| 3.5 溫度波動度 | ≤±1℃ |
| 3.6 溫度均勻度 | ≤2%MFS |
| 3.7 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 3.8 降溫速率 | 特殊要求數據 |
| 3.9 真空度 | ≤133pa或要求數據 |
| 3.10 電源及總功率 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
| 3.11 溫度控制儀表 | 可編程觸摸屏儀表，可校準溫度，PID自整定等功能 |
| 3.12擱板層數 | 316L不銹鋼托盤2層，配有限位裝置 |
| 3.13真空泵 | 油泵/干泵 |
| 3.14 腔門密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
| 3.15 狀態指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態 |
| 3.16 氧含量 | 特殊要求數據 |
| 3.17 潔凈度 | Class100、1000級 |
| 3.18 降溫系統 | 選配 |
| 3.19 氮氣控制 | 工藝要求 |
| 3.20 安全保護裝置 | 安全的接地保護裝置，超溫保護及報警裝置，漏電保護裝置。 |
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