一．無塵烤箱，智能無塵烤箱概述
智能制造主要指生產線現場的生產過程管理、現場監控和控制等，包括智能工廠生產過程的數據采集及分析，實現生產過程、設備、資源監控的可操作和可視化；要能支持采集不同現場設備數據的要求，支持將生產數據及設備故障信息顯示在監控站的屏幕上，實現生產過程的動態監控與管理；實現智能設備、機器人和生產線、用戶全流程互聯對話，實現人機、機機互聯下的高品質、高效、柔性自動化生產等。
無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監控和控制。
二．無塵烤箱，智能無塵烤箱特點
1、 SECS / GEM是用于設備到主機數據通信的半導體設備接口協議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設備處理，收集測量數據，更改變量并為產品選擇配方。 SECS（SEMI設備通信標準）/ GEM（通用設備模型）標準以確定的方式完成所有這些工作。
2、 在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100/10；
3、 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
4、 采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100/10；
5、 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。
三．無塵烤箱，智能無塵烤箱技術參數
1、 無塵等級：Class 100/10;
2、溫度均勻度：±2℃;
3、 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 潔凈度：100/10級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與潔凈度。
四．無塵烤箱，智能無塵烤箱運行監控分析技術
智能無塵烤箱運行監控分析技術，通過物聯網向制造企業提供針對產品的遠程智能服務，包括遠程監控、遠程預警、遠程維護、數據分析等。智能服務拓展到產品的全生命周期管理。產品智能化服務系統包括產品遠程監護與維護平臺、基于大數據挖掘的產品使用分析系統、智能手機APP自助服務系統，實現功能包括以下幾類：
● 對各類產品的上多種數據進行采集、存儲；
● 及時分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優化解決方案及實時監控產品使用情況的綜合服務；
● 產品智能化服務的成功應用可以大大提高工作效率，服務維護成本顯著降低，產品差異化程度提升。
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