LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過(guò)非接觸的方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測(cè)量。分辨率達(dá)10nm，可以方便快捷地獲取影像，同時(shí)配備豐富的測(cè)量功能。

的測(cè)量

更大的樣品范圍

輕松檢測(cè)85° 尖銳角

有尖銳角的樣品（剃刀）

采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100可以地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。

LEXT 專用物鏡

使用專用物鏡時(shí)的象差

高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓

(MPLAPON50XLEXT)

克服反射率的差異

鉆石電鍍工具
物鏡：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。

適用于透明層

多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。

觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹(shù)脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

正確性和重復(fù)性

通常表示測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度的，有2 個(gè)指標(biāo)："正確性"，即測(cè)量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界同時(shí)了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。

追溯體系

OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠。

微細(xì)粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，無(wú)法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。

非接觸式測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量柔軟的樣品時(shí)，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上，無(wú)法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品的表面粗糙度。

高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度測(cè)量結(jié)果（左）

柔軟的樣品

帶有粘性的樣品

微米級(jí)特征的測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，其探針無(wú)法進(jìn)入微米級(jí)的區(qū)域，所以不能對(duì)這些區(qū)域的特征進(jìn)行測(cè)量。而OLS4100可以正確定位，能輕松測(cè)量出特定微小區(qū)域的粗糙度。

焊線

高畫(huà)質(zhì)影像

清晰鮮明的3D 彩色影像

三種類型的綜合影像

無(wú)HDR 的彩色影像
致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

有HDR 的彩色影像
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

算法

穩(wěn)定測(cè)量和成像環(huán)境

復(fù)合減震機(jī)構(gòu)

為了排除來(lái)自外部的影響，穩(wěn)定測(cè)量和成像，OLS4100機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以，可以把OLS4100放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè)，不需要專用的防震平臺(tái)。

直觀的GUI 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化的工作流程

簡(jiǎn)易的三步流程

使用LEXTOLS4100，只需將樣品放置在載物臺(tái)上之后即可立即開(kāi)始觀察／測(cè)量。由于采用了簡(jiǎn)易的三步流程——成像、測(cè)量和報(bào)表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測(cè)量的流程。

始終明白"身在何處"

宏觀圖功能

OLS4100 的宏觀圖功能可以以低倍率顯示大范圍影像，并在宏觀影像上顯示一個(gè)矩形觀察標(biāo)記。該視場(chǎng)可以通過(guò)拼圖設(shè)置為傳統(tǒng)視場(chǎng)的441 倍。當(dāng)配合電動(dòng)六孔物鏡轉(zhuǎn)換器時(shí)，宏觀圖功能可以對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)和倍率更改實(shí)現(xiàn)平滑、便捷的一鍵操作。可以預(yù)設(shè)齊焦和確定物鏡的中心，并可通過(guò)一鍵移動(dòng)載物臺(tái)和調(diào)整倍率進(jìn)行同步。

快速的宏觀圖拼接

掃描大面積區(qū)域時(shí)有兩種拼接方法可用：獲取實(shí)時(shí)影像時(shí)的手動(dòng)模式和快速獲取影像時(shí)的自動(dòng)模式。操作非常快速簡(jiǎn)單——2D拼接只需一鍵操作即可開(kāi)始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動(dòng)模式下有五級(jí)拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9和21×21。對(duì)于影像上不需要的部分，可以使用簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)或控制桿操作手動(dòng)刪除。

用于簡(jiǎn)易3D 成像的智能掃描

自動(dòng)3D 影像獲取

傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置，這對(duì)新手來(lái)說(shuō)非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設(shè)置，系統(tǒng)也會(huì)根據(jù)要獲取的影像自動(dòng)設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得的高度測(cè)量和優(yōu)質(zhì)的影像。

3D 成像

自動(dòng)亮度控制

平面上的亮度控制

一定高度范圍內(nèi)的亮度控制。

大大縮短了獲取時(shí)間

更快的掃描速度

新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍，約是精細(xì)模式的9 倍。因此，對(duì)于那些需要非常精細(xì)的Z 軸移動(dòng)和的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對(duì)刀具的進(jìn)行檢測(cè)。

相同時(shí)間內(nèi)獲取的影像數(shù)量：

實(shí)際的掃描時(shí)間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。

只在所需區(qū)域進(jìn)行高速獲取

OLS4100 還配備了帶寬掃描模式，用于測(cè)量有限的目標(biāo)區(qū)域，測(cè)量性能比傳統(tǒng)模式快1/8。

全新的高速拼接模式

從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域

在宏觀圖中，要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中進(jìn)行。在自動(dòng)模式中，通過(guò)設(shè)置最多625幅影像的矩形拼接尺寸，可以自動(dòng)生成區(qū)域圖，所需的時(shí)間大約只需要通常的一半。下一步，在區(qū)域圖上所需的影像并立即開(kāi)始觀察。

拼接區(qū)域：方形（21×3）63 片

拼接區(qū)域：圓形（3 點(diǎn)）

手動(dòng)所需的影像區(qū)域

在實(shí)時(shí)模式中，通過(guò)在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域，可以手動(dòng)選擇要觀察的區(qū)域。當(dāng)觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時(shí)，該功能非常實(shí)用。

快速影像拼接

要使用智能掃描模式獲取影像時(shí)，只需一鍵操作即可。由于智能掃描會(huì)自動(dòng)調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置，Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域，因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀察時(shí)節(jié)省很多時(shí)間。

智能掃描模式

傳統(tǒng)獲取模式

一鍵操作定制報(bào)表

OLS4100 在測(cè)量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報(bào)表，而且使用編輯功能可以定制各個(gè)報(bào)表模板。將測(cè)量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word 或表格應(yīng)用程序也非常簡(jiǎn)單，就像從數(shù)據(jù)庫(kù)取回所需的影像和報(bào)表一樣。

目標(biāo)的一鍵解決方案

為用戶設(shè)計(jì)的詳細(xì)的向?qū)Чδ苋∠巳唛L(zhǎng)的培訓(xùn)，讓新手也能快速簡(jiǎn)單地進(jìn)行操作。