MX-IR/BX-IR是像透過玻璃似的可透視紅外線顯微鏡。適用于封裝芯片、晶圓級CSP/SIP的非破壞檢查。

非破壞觀察半導體器件內部

隨著不斷發展的電子設備小型化、超薄化的需求，半導體器件的封裝技術也高速進化。使用近紅外線顯微鏡，可以對SiP（System in Package）、三維組裝、CSP（Chip Size Package）等用可視觀察無法看到的領域進行無損檢查和分析。

倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析

在倒裝芯片的焊接中，組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是，如果使用近紅外線顯微鏡，則可以在不破壞封裝的前提下，透過硅觀察IC芯片內部。只要置于顯微鏡下，就可以輕松進行不良狀況分析。對用FIB（Focused Ion Beam）處理位置的也有效。

晶圓級CSP開發的環境試驗導致芯片損壞

晶圓級CSP的高溫高濕試驗導致器件的變化，可以用非接觸方式檢查。此外，還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。

鋁引線部分（內面觀察）

焊錫溢出性評價

電極部分（內面觀察）

針對不同樣品的顯微鏡產品陣容

MX系列產品（半導體檢查型號）

可以用來觀察150～300 mm晶圓等的大型樣品。只對應反射照明觀察。

半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61

工業檢查顯微鏡 MX51

BX系列產品（標準型號）

研究級全電動系統
金相顯微鏡 BX61

對應反射光觀察和光觀察。

BXFM（嵌入式設備型號）

小型系統顯微鏡 BXFM