AL120-12晶圓搬送機(jī)對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便

• 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
• 分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。

堅(jiān)固、可靠和傳送

• 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和性，能夠可靠的傳送300 mm晶圓。
• 薄片，Warped晶圓皆能搬送。
• 宏觀觀察位置的化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。

專用宏觀照明裝置

專用宏觀照明裝置

為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源照射。