MX61A是一款專門設計的半導體顯微鏡，可使操作人員以正確的人體工程學姿勢進行操作，有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測，了工作的效率和產品一體化。

始終提供觀察影像的光學系統

*的缺陷檢查能力

采用了新穎的光學系統（UIS2），特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫化，實現了容易誤檢的中性顏色的再現，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產品比較）。

觀察影像實例

明視場觀察

新暗視場觀察

傳統的暗視場觀察

自動調節亮度

亮度光圈調節示意圖

物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調節亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。

對應各種設備的實時AF

深紫外線觀察用物鏡

MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能*的動態AF。新開發的多點方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實現了追蹤觀察位置的實時對焦。

對應多種觀察方法

物鏡UIS2系列產品

在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發揮高性能的UIS2物鏡系列產品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。
觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。

觀察影像實例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

近紅外線觀察（左）和可見光線觀察（右）的比較

提供擴展性的解決方案

提供擴展性的解決方案

適應分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊

"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統全體進行控制。這個應用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數碼照相機、電動載物臺等外圍設備。軟件進一步拓展了MX61A的擴張性，滿足了不斷變化的分析需求。

實現對人和環境都沒有危害的自動化

符合SEMI S2/S8標準

符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關的基準），S8-0705（有關人體工程學的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的國際標準。符合人體工程學和對策等，高水準的確保了可靠性。

可選的傾斜觀察筒

傾斜觀察筒示意圖

備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒。可以根據用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。

潔凈對應的電動物鏡轉換器

潔凈對應的電動物鏡轉換器

備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉換器。
6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉換器，采用了新型馬達，實現了高速安靜的倍率轉換。

高抗振本體

高倍率觀察圖像示意圖

采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察，也不會出現影像模糊的情況。

可以觸摸屏操作的手控開關

手控開關操作部

配備了觸摸屏操作的手控開關，可以在檢查時執行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調節、DIC延遲調節、亮度調節和交換樣本時的載物臺退出均可以執行。

幫助實現多種觀察的附件

晶圓搬送機組合

晶圓搬送機

可以對應直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。

自動載物臺組合

自動載物臺