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碳化硅，是一種無(wú)機(jī)物，化學(xué)式為SiC，是用石英砂、

石油焦（或煤焦）、木屑（生產(chǎn)綠色碳化硅時(shí)需要加食鹽）

等原料通過(guò)電阻爐高溫冶煉而成。碳化硅在大自然也存在罕見(jiàn)的礦物，

莫桑石。在C、N、B等非氧化物高技術(shù)耐火原料中，

碳化硅為應(yīng)用、經(jīng)濟(jì)的一種，可以稱(chēng)為金鋼砂或耐火砂

碳化硅陶瓷具有優(yōu)良的常溫力學(xué)性能，如高強(qiáng)度、

高硬度、高彈性模量等，的高溫穩(wěn)定性，如高導(dǎo)熱系數(shù)、

低熱膨脹系數(shù)等，以及良好的比剛度和光學(xué)加工性能，

特別適合用于制備光刻機(jī)等 集成電路裝備用陶瓷結(jié)構(gòu)件，

如用于光刻機(jī)中的運(yùn)動(dòng)工件臺(tái)、骨架、吸盤(pán)、水冷板以及精

密測(cè)量反射鏡、光柵等陶瓷結(jié)構(gòu)件等，方泰新材經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)攻關(guān)

，解決了大尺寸、薄壁、中空等復(fù)雜結(jié)構(gòu)碳化硅結(jié)構(gòu)件的加工制備難題，

突破了該類(lèi)碳化硅結(jié)構(gòu)件制備技術(shù)的技術(shù)瓶頸，

推進(jìn)了集成電路制造裝備用關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件的國(guó)產(chǎn)化。

１、碳化硅陶瓷主要包含無(wú)壓燒結(jié)碳化硅(SSiC)、反應(yīng)燒結(jié)碳化硅（RBSC）、化學(xué)氣相沉積碳化硅（CVD-SiC）

２、碳化硅具有各種的性能：超硬 高熱導(dǎo)率和機(jī)械強(qiáng)度、 低熱膨脹系數(shù)、 的熱穩(wěn)定性、低密度、高比剛度、無(wú)磁性。

３、目前在航空、航天、核工業(yè)等各個(gè)行業(yè)均有碳化硅陶瓷的應(yīng)用，如碳化硅陶瓷反射鏡，IC集成電路制造等裝備用陶瓷部件，條件下的熱交換器、材料等。