日本KASHIYAMA樫山工業真空泵NeoDry30E
南京騰宇機電科技有限公司
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產品詳情：
SDE-TX シリーズ
SDEのプロセス性能特化モデル
01
FEATURE
耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用
02
FEATURE
構造材料や溫度設定による高い耐食性 *1
ハーシュプロセス対応例
主要型式
| 仕様 / 型式 | SDE120TX | SDE303TX | SDE603TX | SDE1203TX | SDE20M12TX | SDE30M12TX |
| 排気速度 [L/min] *2 | 1,500 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 45,000 |
| 到達圧力 [Pa] *2 | 1.3 | 0.5 | ||||
| 電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200～220V,?380～480V | |||||
| 外観寸法 [mm] W*H*L *3 | W:370 H:501 L:690 | W:400 H:905 L:760 | W:400 H:905 L:760 | W:400 H:905 L:900 | W:460 H:960 L:900 | W:500 H:960 L:1020 |
*1. 対応ガス種に関してはお問い合わせください。 *2. N2パージ未使用時の値です。
*3. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。
排気性能曲線
*排気性能曲線は組合せにより変更となります。
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