日本KASHIYAMA樫山工業SDE303X真空泵優
南京騰宇機電科技有限公司
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產品詳情：
SDL シリーズ
01
FEATURE
ウエハー、FPDの
大型化に対応
組合せにより大排気量化
可能。15萬L/min以上の
ご要望にもお応えします。
02
FEATURE
タクトタイムの
短縮
大気側排気速度の確保
による、大型ロードロック
チャンバーの高速排気
溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい
主要型式
| 仕様 / 型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
| 排気速度 [L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
| 到達圧力 [Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5.0 | |||
| 電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200～220V,?380～480V | 3相 AC380～440V | |||||
*1. N2パージ未使用時の値です。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。
排気性能曲線
*排気性能曲線は組合せにより変更となります。
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