四探針測試儀 四探針分析儀 電阻性能測試儀

型號:DL07-RTS-5

儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規四探針測量方法所生產的儀器是無法實現的。

RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析

技　術　指　標 ：

測量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴展）；

方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴展）；

電導率：0.005～1000 s/cm；

電阻：0.001～200Ω.cm；

可測晶片厚度 ≤3mm

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；

200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；

400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；

恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調

數字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓（總力）；

四探針探頭應用參數 （見探頭附帶的合格證）

模擬電阻測量相對誤差

（ 按JJG508-87進行） 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機測量zui大相對誤差 （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±4%

整機測量標準不確定度 ≤4%

計算機通訊接口 并口

標準使用環境 溫度：23±2℃；

相對濕度：≤65%；

無高頻干擾；

無強光直射；

北京北信科儀分析儀器有限公司

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：李

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