一般萬級無塵室所用的高效過濾器，FFU過濾單元能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達到99.99%，出風風速0.4m/s，不能有超過20KG以上的外力作用于過濾器上，以免破壞過濾器組織架構。FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備"。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式"墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。 該機組設計整體靈活，便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過濾器采用刀邊型框架時，這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架，根據設計的規格，他可輕而易舉配合任何吊頂骨架，達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質或不銹鋼，各具特色。采用這種機組，可以為潔凈室輸送高質量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅動器的廠家及光學、生物工業及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。
：靈活性。 因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。 第二：可再利用性。 從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。 第三：負壓通風。 這是FFU的特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。 第四：縮短建設周期。 使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。 第五：減少運行成本。 雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。
風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便，風速調節靈活，潔凈區易于變更等特點，因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一
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