太赫茲法布里-珀羅標準具(TFPE)是一種法布里-珀涉儀，其反射面之間的距離固定，由高電阻率浮區硅的平平板制成。 標準具的平整度和平行度比常規平平窗口更好。 標準具厚度的測量精度很高。
在執行TDS系統的校準、窄帶太赫茲源的調整和在太赫茲頻率范圍內通過光譜方法進行厚度測量時，TFPE用作厚度參考。TFPE也可用作窄帶濾波器（標準具的輕微偏角允許調整傳輸范圍。
使用示例
校準TDS系統過程以精確測量樣品厚度是使用TFPE的一個例子。 實驗裝置如圖1所示。1.
Fig. 1. Experimental setup
實驗包括測量TFPE透射光譜和確定衍射值之間的距離（圖2）。 鑒于距離和HRFZ-Si (3.416)的折射率，可以計算出TFPE的厚度。
Fig. 2. TFPE transmission spectrum within 0.5 – 1 THz range at thickness 3.042 mm
測得的厚度值應與質量證書中規定的相同。任何差異都表明TDS系統需要調整。
| Material | HRFZ-Si |
| Type | THz Fabry-Pérot Etalon |
| Diameter range, mm | 25.4-150 |
| Aperture, % | >=90 |
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以下TFPE有現貨供應：
| 型號 | 直徑 | 額定厚度 | 個別標準具參數 | |||
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| - | - | 實際厚度* | 自由光譜范圍(FSR)** | 帶寬（FWHM）Δf | 平坦度(F)*** |
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| mm | mm | mm | GHz | GHz | - |
| TEFP- HRFZ-Si-25.4-T3 | 25.4 | 3 | 3.042 | 14.4 | 5.5 | 2.6 |
*針對每個特定標準具進行測量，精度為0.001毫米。
**自由光譜范圍(FSR)是TFPE縱模之間的頻率偏移。 自由光譜范圍可以計算為，其中c是光速，l是TFPE的厚度，n是HRFZ-Si的折射率。
***精細度(F)是自由光譜范圍與帶寬（半高全寬，FWHM）的比率。 精細度可以計算為F=(2?π)/(-ln (R^2 ) )。 其中R是TFPE的反射系數。
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