1分辨率：

1.1寬度測量顯示分辨率≤1nm。

1.2高度測量顯示分辨率≤0.8 nm。

2光源要求：

2.1激光部分：采用405nm短波長半導體激光器，安全等級CLASS 2（輸出功率≤1mW）。

2.2可見光部分：長壽命LED光源。

2.3光掃描型觀察裝置：通過對激光的掃描而得到的信號進行取樣，將其轉換為電信號。

*3采用激光雙光路共焦系統。

4放大倍數：110倍——17000倍。

5載物臺要求：

5.1控制方式：電動載物臺。

5.2載物臺行程范圍：X向不小于100mm，Y向不小于100mm。

（大工作臺可定制）

6物鏡要求：

6.1提供不少于5X、10X、20X、50X、100X、20X（超長焦）物鏡共計6顆。

6.2其中20X、50X、100X均為405納米激光LEXT專用平場復消色差（APO）物鏡。數值孔徑（N.A.）分別不小于0.60、0.90、0.95。

*6.3其中20倍超長焦物鏡工作距離不小于25mm。

7物鏡轉換器：5孔電動編碼型物鏡轉換器。

8可觀察試樣高度：0—95mm。

9軟件要求：

9.1功能包括：長度、高度、角度、面積、體積測量。其中高度測量根據相機上成像的多個位置的分段圖像的像素的亮度信息，求出IZ峰值位置，獲得上述試樣的高度信息，上述IZ峰值位置是根據表示亮度I和Z軸方向的焦點位置之間的關系的I-Z特性求出的亮度位置。

9.2粗糙度測量功能：軟件操作界面具有單獨粗糙度測量模塊，取樣長度d不低于50mm，測量精度符合國際標準ISO4287。

9.3自動三維拼圖功能。軟件具備操作向導功能及宏觀地圖功能。

10計算機要求：XeonCPU/8G內存/500GB硬盤/DVD-RW光驅/24寸專業液晶顯示器。

*11具備升級為原子力功能。