SpecEl 橢偏儀
SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率，吸光率及膜厚的測量。
技術參數
| 波長范圍: | 380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
| 光學分辨率 | 4.0 nm FWHM |
| 測量精度 | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角 | 70° |
| 膜厚 | 單透明膜1-5000 nm |
| 光點尺寸 | 2 mm x 4 mm (標準) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
| 采樣時間 | 3-15s (最小) |
| 動態記錄 | 3 seconds |
| 膜層數 | 至多32層 |
| 參考 | 不需要 |
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。