NanoCalc 薄膜反射測量系統
薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250µm的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。
的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。
技術參數
| 入射角 | 90° |
| 層數 | 3層以下 |
| 需要進行參考值測量 | 是 |
| 透明材料 | 是 |
| 傳輸模式 | 是 |
| 粗糙材料 | 是 |
| 測量速度 | 100ms - 1s |
| 在線監測 | 可以 |
| 公差（高度） | 參考值測量或準直(74-UV) |
| 公差（角度） | 參考值測量 |
| 微黑子選項 | 配顯微鏡 |
| 顯示選項 | 配顯微鏡 |
| 定位選項 | 6"和12" XYZ 定位臺 |
| 真空 | 可以 |
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