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一、 概述

背壓檢漏法是在氦質譜檢漏法中應用較廣泛的方法之一，它主要用于封離電子器件、半導體器件和具有內空腔的微電路封裝等元件的氣密性檢測。

A601氦氣氟油加壓儀可以用于元器件進行氦質譜檢漏前的氦氣加壓，也可將元器件置于輕氟油中做氟油檢漏前的加壓。做氦質譜檢測時示蹤氣體為氦氣，進行氟油檢漏時示蹤物質是輕氟油。

二、 主要技術指標

允許充壓： ≤0.6MPa

壓力容器尺寸： Ф200×150㎜/Ф312×250 ㎜

容器真空壓力： ≤50Pa

壓力范圍：0.2-0.6MPa

電源功率： 220V 400W

三、使用條件

設備使用之前需準備滿足實驗需要的氮氣、氦氣和輕氟油(F113)

四、 設備功能

 采用PLC 控制，全自動操作

 觸摸屏操作，設備各元件工作狀態均可顯示，壓力和時間可設置，操作便捷直觀

 油位顯示，具備過濾功能

 可有效防止誤操作和提高檢漏效率

 壓力罐配有光電檢測設備，可隨時監測壓力罐內的油位

 真空系統可選配干式真空泵

五、配置清單