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機臺型號

FVG5040

FVG7060

FVG9070

FVG1210

FVG1512

機臺結構

高精密花崗石承載式龍門結構

測量行程X/Y/Z(mm)

400*500*200

600*700*200

700*900*200

1000*1200*200

1200*1500*200

機臺承重

100kg

外觀尺寸LXYZ （mm）

1550*1100*1580

1750*1340*1590

2100*1580*1590

2500*1850*1590

2700*2000*1590

機臺重量

2100kg

2300kg

2600kg

2900kg

3200kg

運動控制

          全閉環4軸自動控制

測量精度

X/Y軸

E1=（2.5+L/200）μm

Z軸

E2=（5+L/200）μm

速度

X/Y軸

500MM/S

Z軸

300MM/S

光源控制

表面光

                   五環八區四十項程控式LED冷光源

輪廓光

                   程控式LED平行冷光源、256級可調

光學系統

                              美國NAVITAR自動變焦鏡頭模組

放大倍率

                              光學放大0.7-4.5X影像放大22-145X

影像系統

                              高靈敏度高分辨率1/2’’CCD黑白/彩色

運動系統

                              承載式超精密級THK直線導軌

運動控制系統

                               YASKAWA AC伺服馬達

光柵尺

                              高分辨率光柵尺，分辨率：0.5μm

工作環境

溫度

20±2℃

濕度

35％-65％

震動

震動＜0.002g，低于15Hz

電源

220V/50Hz/10A