產(chǎn)品特征
1.采用了劃時代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺
在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承，實現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。
2.高剛性、高精度
高品質(zhì)精磨級滾珠絲杠驅(qū)動，小導(dǎo)程，相同細分可達到高的分辨率級高的重復(fù)定位精度。
3.超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)
中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用
4.潤滑系統(tǒng)
在各種運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度。
5.產(chǎn)品整體機構(gòu)薄且輕，內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)同時進行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉(zhuǎn)?？蓪崿F(xiàn)任意位置再運動。
6.材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命
產(chǎn)品應(yīng)用:
1.面板貼膜
2.3D網(wǎng)版印刷
3.玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備
4.Wafe對位設(shè)備
5.P.C.D曝光設(shè)備
6.軟體裁切設(shè)備
7.半導(dǎo)體設(shè)備
1.采用了劃時代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺
在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承，實現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。
2.高剛性、高精度
高品質(zhì)精磨級滾珠絲杠驅(qū)動，小導(dǎo)程，相同細分可達到高的分辨率級高的重復(fù)定位精度。
3.超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)
中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用
4.潤滑系統(tǒng)
在各種運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度。
5.產(chǎn)品整體機構(gòu)薄且輕，內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)同時進行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉(zhuǎn)?？蓪崿F(xiàn)任意位置再運動。
6.材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命
產(chǎn)品應(yīng)用:
1.面板貼膜
2.3D網(wǎng)版印刷
3.玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備
4.Wafe對位設(shè)備
5.P.C.D曝光設(shè)備
6.軟體裁切設(shè)備
7.半導(dǎo)體設(shè)備
| 型號 | RUUVW350RS | |
| 結(jié)構(gòu) 描述 | 臺面尺寸（mm） | 350X350 |
| 底板尺寸（mm） | 450X450 | |
| 高度（mm） | 90 | |
| 行程（mm） | ±5 | |
| 角度（θ） | ±2° | |
| 主體材料 | 鋁合金 | |
| 表面處理 | 陽極氧化發(fā)黑 | |
| 電機 | 42步進電機 | |
| 精度 描述 | 螺桿規(guī)格 | φ10-P2 |
| 水平承載（Kg） | 100 | |
| 重復(fù)定位精度（μm） | ±2 | |
| 平行度（μm） | 30 | |
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