| X | Y | Z | ΘX | ΘY | ΘZ | |
| RU5ES-1-L | RU101-20MS | RU101-20MS | RU101-20MS | RUB50-60LN | - | |
| RU5ES-1-R | RU101-20MS | RU101-20MS | RU101-20MS | RUB50-60RN | - | |
| RU5ES-2-L | RUKS102-30 | RUKS101-20MS | RUKS102-70PY | RUKS501-40U | RUKS501-60LR | - |
| RU5ES-2-R | RUKS102-30R | RUKS101-20MS | RUB102-70Y | RUKS501-40UR | RUKS501-60L | - |
| 行程 | RU5ES1 (20MM)-ΘXΘY(±3°) RU5ES-2 (X,30MM Y,20MM Z,70MM ΘX16°ΘY16° | - | ||||
| 分辨率 | 微動:0.5ΜM(20細分) ≈0.003″(通用) RU5ES-1-2≈0.0032″ | - | ||||
| 光軸高 | RU5ES1-2(145MM),RU5ES-1-2(189MM) | |||||




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