并聯六自由度平臺能夠提供全部6個自由度，即3個線性軸和3個旋轉軸，組合在一起實現并聯運動。并聯六自由度平臺的優勢是允許用戶自定義支點，可實現被測物的直接環繞，同時可以根據需要自定義另外的旋轉點。
1、高速、高精度的并聯六自由度平臺能夠提供全部六個自由度
2、并聯運動設計，具有緊湊、剛性高的特點。
3、集成了自動掃描程序。
4、適用于各種姿態調整應用
| | RU002TS-65 | RU002TS-90 | ||||||
| X/Y | Z | θxy | θz | X/Y | Z | θxy | θz | |
| 運動臺面(mm) | Φ65 | Φ90 | ||||||
| 行程(mm)/ (deg) | ±7 | ±6 | ±10 | ±15 | ±15 | ±14 | ±12 | ±30 |
| 重復定位精度(μm)/ (deg) | ±1 | ±1 | ±0.01 | ±0.01 | ±1 | ±1 | ±0.01 | ±0.01 |
| 負載(垂直方向/水平方向) (kg) | 5 | 5 | ||||||
| 電機類型 | 步進電機/伺服電機/直流電機 | |||||||
| 接口類型 | Ethernet，USB，串口（RS-232） | |||||||
| 輸出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz | |||||||
| 可選項 | 用戶可以定制平臺面;更大行程；真空兼容；無磁應用；尺寸可擴展 | |||||||
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