簡要描述：直驅顯微鏡載物臺采用軸式直線電機直接驅動技術，無需其它機械轉換元件即可線性傳動，能達到高速，零頓力，與低速度波的特性，展現的動態性能，加工無磨耗，零背隙，維護簡單，相較于傳統機械式線性設備，有效提升產品降低維護成本。滿足高精度定位控制與平穩運動的應用，如高速輕負載自動化設備，無塵環境的自動化設備，光學檢測設備，醫療自動化等產業。
軸式直線電機特性：
•無鐵芯 無頓力 的動態特性，低速度波
•加速度10G
•防護等級可達IP67
•無磨耗，零背隙
軸式直線電機特性：
•無鐵芯 無頓力 的動態特性，低速度波
•加速度10G
•防護等級可達IP67
•無磨耗，零背隙
| 產品型號 | RUXWA175-50 | RUXWA195-70 | RUXWA225-100 | RUXWA300-150 | ||||
| 機械規格 | 臺面尺寸 | 175x175 mm | 195x195 mm | 225x225 mm | 300x300 mm | |||
| 行程 | ±25mm | ±35mm | ±50mm | ±75mm | ||||
| 導軌形式 | 微型直線導軌 | |||||||
| 傳動方式 | 軸式直線電機 | |||||||
| 材質/表面處理 | 噴砂氧化發黑 | |||||||
| 重量 | 2.2kg | 2.5kg | 3.5kg | 6kg | ||||
| 精度規格 | 臺面承載 | 5kg | 4.5kg | 4kg | 8kg | |||
| 雙向重復定位精度 | ±1μm | |||||||
| 定位精度 | 3μm | |||||||
| 速度 | 50mm/s | |||||||
| 平面度 | ±3μm/50mm | |||||||
| 直線度 | ±3μm/25mm | |||||||
| 分辨率 | 0. 1μm | |||||||
| 電器規格 | 感應器 | 零位、限位NPN光電開關 | ||||||
| 編碼器 | 光柵尺（0.1μm、0.5μm可選） | |||||||
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