| 產品型號 | RUWA1000-200X200Z | |
| 機械規格 | 安裝臺面尺寸 | 1000X1000mm |
| 行程(X,Y) | ±100mm | |
| 交流伺服電機 | 2500W | |
| 導軌 | 方滑塊直線導軌 | |
| 材質 | 主體材料45#鋼(表面發蘭處理) | |
| 絲杠 | 40滾珠絲杠(導程5可選10/40) | |
| 重量 | 500kg | |
| 精度規格 | 組合終端臺面承載 | ≥2000kg |
| 速度 | 300mm/sec | |
| 分辨率 | 0.2μm | |
| 反復定位精度 | ≤±5μm | |
| 直線度 | 偏擺:≤20″ 俯仰:≤40″ | |
| 運動平行度 | 全行程≤30μm | |
注:負載500KG下,可滿足振蕩頻率30HZ





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