小型蒸鍍儀 金屬有機物蒸鍍介紹：
小型蒸鍍儀 金屬有機物蒸鍍是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
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控溫方式 | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
大功率 | ≤800W |
大輸出電壓電流 | 電壓≤10V 電流≤80A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
樣品室 | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品熱源調節距離 | 70-140mm |
蒸發溫度調節 | ≤1600℃ |
蒸發坩堝容積 | 3ML |
真空法蘭 | KF25抽氣口 KF25擴展口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 1 膜厚在線測試 2 分子泵 |
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