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六探針真空探針氣體環境密封 測試腔

1、測試腔、控溫及加熱系統

測試夾具要求：可實現XYZ移動；
測試腔：同時滿足靜態/動態測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；
測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；
測量溫度：室溫---300 ℃
控溫精度：±1 ℃
顯示精度：±0.1 ℃
測溫傳感器：PT100
升溫斜率：1-10 ℃/min
通訊類型：RS485
加熱功率：500 W
測試腔容積<2 L

2、氣體配比器
流量計數量：5個，（根據客戶需求標定 氣體 量程 進氣口和出氣口）
流量規格：500 ml/min
精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)
重復精度：±0.2% F.S
響應時間：≤1 s
密封形式：金屬密封
接頭尺寸：6 mm
漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s
通訊接口：RS485
4、樣品12*10mm，探針可移動范圍x-y 1-10mm，z軸3-5mm
5、每個樣品上方一個紫外燈，四個燈連成燈串外置一個可控開關。紫外燈可更換，樣品上方2cm。
6、加熱板上有個鍍金襯底，用來連接柵極。