小型臺(tái)面式熱蒸發(fā)鍍膜儀是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
小型臺(tái)面式熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
控溫方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
大功率 | ≤800W |
大輸出電壓電流 | 電壓≤10V 電流≤80A |
真空度 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
樣品室 | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （大可安裝φ50基底） |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品熱源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1600℃ |
蒸發(fā)坩堝容積 | 3ML |
真空法蘭 | KF25抽氣口 KF25擴(kuò)展口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴(kuò)展 | 1 膜厚在線測(cè)試 2 分子泵 |
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