行業標準 JJG_28-2000
產品技術規格
平晶標準尺寸單位（mm）
組號 | 0－25 | 25－50 | 50－75 | 75－100 |
1 | 15.00，15.12 | 40.00，40.12 | 65.00，65.12 | 90.00，90.12 |
15.25，15.39 | 40.25，40.37 | 65.25，65.37 | 90.25，90.37 | |
2 | 15.12，15.25 | 40.12，40.25 | 65.12，65.25 | 90.12，90.25 |
15.37，15.50 | 40.37，40.50 | 65.37，65.50 | 90.37，90.50 | |
3 | 15.25，15.37 | 40.25，40.37 | 65.25，65.37 | 90.25，90.37 |
15.50，15.62 | 40.50，40.62 | 65.50，65.62 | 90.50，90.62 | |
4 | 15.37，15.50 | 40.37，40.50 | 65.37，65.50 | 90.37，90.50 |
15.62，15.75 | 40.62，40.75 | 65.62，65.75 | 90.62，90.75 | |
5 | 15.50，15.62 | 40.50，40.62 | 65.50，65.62 | 90.50，90.62 |
15.75，15.87 | 40.75，40.87 | 65.75，65.87 | 90.75，90.87 | |
6 | 15.62，15.75 | 40.62，40.75 | 65.62，65.75 | 90.62，90.75 |
15.87，16.00 | 40.87，41.00 | 65.87，66.00 | 90.87，91.00 |
按JJG_28-2000標準
1. 平晶精度：1級
2. 平面度誤差：
直徑 30mm~60mm 0.03μm
直徑 80mm~150mm 0.05μm
直徑 200mm~300mm 0.06μm
直徑 300mm~600mm 0.08μm
（直徑300mm~600mm的平晶 平面度誤差均可以做到0.03μm 達到國際水平 ）
3. 平行度誤差：Ⅰ級 0.6μm
4. 平晶的材料：
檢驗標準 （GB 903-1987 無色光學玻璃）
5. 平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內進行等溫，等溫時間不少于8h
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