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行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) JJG_28-2000

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格

平晶標(biāo)準(zhǔn)尺寸單位（mm）

按JJG_28-2000標(biāo)準(zhǔn)

1. 平晶精度：1級

2. 平面度誤差：

直徑 30mm~60mm 0.03μm

直徑 80mm~150mm 0.05μm

直徑 200mm~300mm 0.08μm

直徑 300mm~600mm 0.1~0.2μm

3. 平行度誤差：Ⅰ級 0.6μm

4. 平晶的材料：

檢驗標(biāo)準(zhǔn) （GB 903-1987 無色光學(xué)玻璃）

5. 平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內(nèi)進行等溫，等溫時間不少于8h