我們可以修復(fù)半導(dǎo)體行業(yè)的主要品牌MFC,包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等

- 流量不穩(wěn)定(Flow unstable/Having Spike)
- 實際流量偏差超出規(guī)格(Actual flow out of SPEC)
- 流量無法控制 (Flow cannot be controlled)
- 響應(yīng)時間延遲 (Flow response time delay)
- 已修復(fù)MFC保修:6個月
- 耗材更換:O形圈、金屬密封、閥門、電氣部件
- MFC內(nèi)的氣體配件和管道清潔(超聲波和化學(xué))
- MFC集成PCB修復(fù)
- 完井測試(功能和泄漏)
- MFC內(nèi)部和外部泄漏測試
- MFC特定點流量測試
- MFC設(shè)定點流量特定循環(huán)測試
- MFC功能老化測試(10小時)



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