我們可以修復(fù)半導(dǎo)體行業(yè)的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等
對于Cl2和Br2 MFC，我們建議客戶更換新的，我們也可以提供1對1的交換服務(wù)。、
MFC Common Failure/Issue
- 流量不穩(wěn)定（Flow unstable/Having Spike）
- 實際流量偏差超出規(guī)格（Actual flow out of SPEC)
- 流量無法控制 （Flow cannot be controlled)
- 響應(yīng)時間延遲 （Flow response time delay)
MFC 服務(wù)范圍
- 已修復(fù)MFC保修：6個月
- 耗材更換：O形圈、金屬密封、閥門、電氣部件
- MFC內(nèi)的氣體配件和管道清潔（超聲波和化學(xué)）
- MFC集成PCB修復(fù)
- 完井測試（功能和泄漏）
MFC服務(wù)完成測試
- MFC內(nèi)部和外部泄漏測試
- MFC特定點流量測試
- MFC設(shè)定點流量特定循環(huán)測試
- MFC功能老化測試（10小時）
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