本模塊由除雜質(zhì)顆粒、金屬離子過(guò)濾兩大部分組成:
(1)金屬離子過(guò)濾:采用多孔介質(zhì)結(jié)構(gòu),通過(guò)內(nèi)部離子交換基團(tuán)或螯合樹(shù)脂基團(tuán),確保金屬污染物與反應(yīng)部位之間具有充分接觸時(shí)間,以高效過(guò)濾金屬離子,過(guò)濾后金屬離子濃度<1ppb。
(2)雜質(zhì)顆粒過(guò)濾:高純度0.05-0.1 μm終端PFA過(guò)濾器去除痕量顆粒,采用熱融方式接合,避免使用過(guò)程中有任何添加物釋出。


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