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本模塊由除雜質(zhì)顆粒、金屬離子過(guò)濾兩大部分組成：

（1）金屬離子過(guò)濾：采用多孔介質(zhì)結(jié)構(gòu)，通過(guò)內(nèi)部離子交換基團(tuán)或螯合樹(shù)脂基團(tuán)，確保金屬污染物與反應(yīng)部位之間具有充分接觸時(shí)間，以高效過(guò)濾金屬離子，過(guò)濾后金屬離子濃度＜1ppb。

（2）雜質(zhì)顆粒過(guò)濾：高純度0.05-0.1 μm終端PFA過(guò)濾器去除痕量顆粒，采用熱融方式接合，避免使用過(guò)程中有任何添加物釋出。